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高純金剛石

主要參數(shù)指標

元素

含量

備注

氮（N）

＜ 50 ppb

采用ERP（電子順磁共振）測得 

硼（B）

＜ 1 ppb

用 SIMS（二次離子質(zhì)譜儀）測得

碳（13C）

1.1%

天然豐度

碳（12C）

98.9%

天然豐度

熱學性能



熱導率

＞2000 Wm-1K-1


熱膨脹系數(shù)(300K)

1.0±0.1 ppm·K-1


熱膨脹系數(shù)(1000K)

4.4±0.1 ppm·K-1


幾何性能



標準尺寸

2mmx2mm/3mm×3mm


標準厚度

0.5mm


拋光面粗糙度(nm)

上下表面

Ra＜ 5 nm


拋光面粗糙度(nm)

側(cè)面

Ra＜ 100 nm


晶體學取向

100，110，111